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溅射法镀二氧化钛薄膜靶材及工艺研究进展

http://www.com165.com 时间:2016-10-19 14:49来源:未知

  

二氧化钛薄膜在0.4~3μm波长范围内具有良好的透过性和高折射率(当λ=500 nm时,n=2.35;当λ=2μm时,n=2.2),而且机械性能优良、抗腐蚀能力强,可用于复合光学镀膜以生产低辐射玻璃和减反射玻璃。另一方面,二氧化钛薄膜具有光催化性能,在光催化净化和光化学太阳能电池等环境自净工业中,是应用最广泛的材料之一。

应用溅射镀膜技术,可在玻璃、塑料和金属上镀各种金属、介电材料的复合膜,以起到太阳能控制、低辐射、阻止反射、电磁界面、透明半导体以及其它很多方面的作用。

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